電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)組成及要求

特種氣體工藝管道系統(tǒng)是用來(lái)處理特殊氣體的一個(gè)系統(tǒng)，這里主要介紹下工藝氣體系統(tǒng)及特種氣體工藝系統(tǒng)的組成及以下設(shè)計(jì)方面的要求。

電子特氣管道系統(tǒng)

電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)介紹

我們知道一般工藝氣體都是儲(chǔ)存在鋼瓶中，在集中供氣系統(tǒng)中一般要有專用裝置儲(chǔ)存鋼瓶，在過(guò)去十多年中，沒(méi)有集中供氣之前，特種氣體供應(yīng)沒(méi)有形成有效的系統(tǒng)，鋼瓶凌亂，管理混亂，不相容氣體混放等問(wèn)題非常嚴(yán)重，極大的影響到用氣安全。

電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)組成

1、儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格。

2、氣體分配用閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)。

3、輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)。

4、尾氣處理裝置。

電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)要求

1、電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特氣工藝的參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。

2、不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)。

3、不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。

以上就是沃飛科技為大家講解的電子特種氣體工藝管道系統(tǒng)組成及要求，希望能給大家提供參考