PECVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置

PECVD設備接scrubber是干什么用的？scrubber 一般接在什么位置？下面由沃飛科技來為大家簡單的講解一下CVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置。
Scrubber基本上是專為PECVD設備的尾氣處理而設計的一種設備，PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應易爆易燃或有毒氣體排出，Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專門設計的設備。local scrubber專屬PECVD單臺或多臺使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!

Scrubber設備的分類

scrubber根據不同的工藝，產生不同的尾氣；選用不同的處理方式的！

scrubber設備有電加熱式、燃氣式、吸附式、還有一種是用plasma式，其中吸附式要更換吸附桶，使用起來價格比較高，但維護起來是最方便的。

一般選用可用加熱水洗式，水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會反應成SIO2。NH3與水反應會產生結晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會在燃燒后打開，再跟水反應成HF。
Scrubber設備的安裝位置

Scrubber設備一般安裝在設備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經過真空泵pump抽壓抽到Scrubber設備經過處理后然后在排到廠務。
以上就是沃飛科技為大家簡單講解的關于CVD設備的scrubber的作用和分類以及安裝位置，希望能給大家提供參考。

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