特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖
電子特氣管道系統(tǒng)是指半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示、新能源、光纖、微電子等制程工藝中用到的特種制程工藝氣體的供氣系統(tǒng)。
系統(tǒng)一般由氣瓶房供氣端和潔凈室用氣端組成，氣瓶房所用到的設(shè)備有特氣柜，特氣柜，大宗氣罐和尾氣廢氣處理設(shè)備組成，潔凈室用氣端一般由VMB閥門分配箱，VMP閥門盤組成，主要作用是分配氣體到工藝設(shè)備。

電子特氣管道系統(tǒng)都需要安裝GDS氣體探測(cè)報(bào)警系統(tǒng)，GDS和供氣系統(tǒng)組成聯(lián)動(dòng)作用。
以上就是特種氣體控制流程系統(tǒng)展示圖的簡(jiǎn)單介紹，如有興趣了解詳細(xì)的特氣系統(tǒng)，請(qǐng)致電0755-27919860咨詢?cè)斍?br/>