在半導(dǎo)體制造中，擴散工藝是一種常用的生產(chǎn)工藝，是一種摻雜技術(shù)，而電子特氣系統(tǒng)是能將擴散工藝所需的元素氣體原材料，在保護氣體純度的同時，安全穩(wěn)定的供應(yīng)到使用設(shè)備。

什么是擴散工藝？

擴散工藝是一種摻雜技術(shù)，在高溫條件下，利用熱擴散原理將雜質(zhì)元素按工藝要求對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅襯底中，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，改變硅材料的電學(xué)特性，以便建立起不同的電特性區(qū)域。

擴散工藝在半導(dǎo)體制造中應(yīng)用主要體現(xiàn)在對關(guān)鍵結(jié)構(gòu)PN結(jié)形成的作用上。因為單獨的擴散工藝還有一些缺陷：如高溫擴散時間長、生產(chǎn)周期長、所需溫度高等，這些缺陷會對半導(dǎo)體的產(chǎn)量、質(zhì)量和成品率等都會造成影響，所以，在PN結(jié)的制造中，擴散工藝常搭配離子注入技術(shù)一起使用。

特氣系統(tǒng)的應(yīng)用：

在半導(dǎo)體制造中，特氣系統(tǒng)將含元素離子氣體作為摻雜氣體注入到晶圓表面，通過擴散原理改變硅材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體PN結(jié)。

半導(dǎo)體行業(yè)對所用的氣體，不管是純度還是氣體性質(zhì)都有著使用要求，被稱為電子特氣，大多數(shù)是易燃易爆、劇毒、腐蝕性的特殊氣體，具有很大的危險性。超高純電子特氣系統(tǒng)，就是在保護電子特氣純度、避免外界雜質(zhì)污染的同時，保證氣體的使用安全、壓力穩(wěn)定和使用設(shè)備的精準(zhǔn)供氣。

以上描述，就是關(guān)于電子特氣系統(tǒng)在半導(dǎo)體制造擴散工藝中應(yīng)用的簡單介紹！希望對您有所幫助，感謝您的閱讀！