TFT-LCD，即薄膜晶體管（Thin Film Transistor,TFT）。TFT-LCD 的制造生產(chǎn)工藝工序繁多，包括檢查和測試在內(nèi)可達到100 多道工序，生產(chǎn)過程中使用多種化學有機溶劑和特殊氣體，會產(chǎn)生大量的有機廢氣（VOCs ），組分復(fù)雜。如果不經(jīng)尾氣處理設(shè)備直接排空，將對環(huán)境造成污染。

TFT-LCD有機廢氣來源：

TFT 液晶面板生產(chǎn)排放VOCs 污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻（涂膠、曝光和顯影），以及彩膜工程中的黑色矩陣BM 膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍，RGB）、保護膜生成、MVA 膜、PS（PHoto Spacer）膜生成是產(chǎn)生VOCs 的主要工藝。

同時，在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發(fā)也會產(chǎn)生少量的VOCs。TFT-LCD 的制造過程中產(chǎn)生的VOCs 主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。

尾氣處理設(shè)備：

尾氣處理設(shè)備，主要是指運用不同工藝技術(shù)，通過回收或去除、減少排放尾氣的有害成分，達到保護環(huán)境、凈化空氣及保護周邊人員身體健康的一種環(huán)保設(shè)備。

目前，針對TFT-LCD有機廢氣的尾氣處理，一般采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理方法。有機溶劑廢氣先由吸附式尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）進行吸附處理，再進入中央處理系統(tǒng)（central scrubber）進行二次處理后排入大氣。

吸附式尾氣處理設(shè)備（Local Scrubber）是利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，使其中所含的一種或多種組分吸附于固體表面上，達到分離的目的。其中吸附劑選擇性高，能分開其他過程難以分開的混合物，有效地清除（或回收）濃度很低的有害物質(zhì)，凈化效率高，設(shè)備簡單，操作方便，且能實現(xiàn)自動控制。

以上，就是關(guān)于TFT-LCD制造生產(chǎn)工藝中有機溶劑（VOCs）尾氣的來源種類和尾氣處理設(shè)備的簡單介紹，感謝您的閱讀！