全自動特氣柜（Gas Cabinet ）是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)，基本功能包括自動吹掃、自動切換以及緊急情況下的自動安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號被觸發(fā)時(shí)）。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）通過采用PLC控制，觸控屏為人機(jī)界面，通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動閥、過流量計(jì)等裝置，實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

特氣柜主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送，如：輸送特種氣體參與泛半導(dǎo)體行業(yè)集成電路制造的核心工藝流程：摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環(huán)節(jié)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、半導(dǎo)體工廠；

2、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室；

3、液晶工廠；

4、太陽能電池工廠。

沃飛WOFLY全自動特氣柜（GC）擁有SIME S2認(rèn)證，報(bào)警偵測警報(bào)功能齊，第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)泄漏并阻止泄漏氣體擴(kuò)散，及時(shí)報(bào)警處理，避免更大事故的發(fā)生，確保了正常生產(chǎn)和員工人身安全。