閥門箱VMB（Valve Manifold Box）/閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)
是一種內(nèi)嵌多支分發(fā)管與排氣管的箱子。它能讓氣體從單一來源被分配到多點應(yīng)用 (典型設(shè)計為四點, 操作手冊有介紹)。對于每個使用點, 氣壓可被單獨地調(diào)控, 從而滿足個別應(yīng)用需求。它還提供循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能, 因此能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地拆卸 VMB 的每一部份。除此以外, 它也能在不影響其它應(yīng)用點的氣體供應(yīng)下, 清洗某一氣體分發(fā)管或者對其進(jìn)行真空抽氣。VMB 被設(shè)計且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應(yīng)。VMP（Valve Manifold Panel）與VMB區(qū)別在于它使用的開放式管道分配部件，一般用于惰性氣體。

目前因制程越來越先進(jìn)，所以產(chǎn)生BSGS的系統(tǒng)，而未達(dá)到供應(yīng)的穩(wěn)定，且可以一臺分配到多臺VMB，所以在中間都會在增加VDB 。VDB（Valve Distributing Box）就是VMB的總管,主管路到FAB內(nèi)先接VDB,再分到各各VMB內(nèi)，其中的VDB有些廠叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特別大的氣體供應(yīng)上。VDB是進(jìn)二（有一路做BACKUP）路管道，出多路管道。惰性氣體可選用VDP（Valve Dispense Panel）。

閥門箱VMB（Valve Manifold Box）/閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)硬件簡介：
1. 人機(jī)界面：作為人與控制器的控制與溝通界面。
一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，同事亦可接受操作人員下達(dá)的指令，作為系統(tǒng)運作的確認(rèn)。
2. PLC：整體控制的處理中心。
3. 電磁閥：控制氣動閥的開閉。
(電磁閥為可撥式Type，可依需求強(qiáng)制開啟電磁閥)
4. 警急遮斷按鈕：系統(tǒng)發(fā)生異常時按此鈕關(guān)閉盤面氣動閥。
5. LED指示燈：以亮燈表示系統(tǒng)目前的狀態(tài)。
系統(tǒng)正常：（Normal）
存量不足：（Low Quantity）
異常報警：（Shutdown）Or (Warning)
6. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測到火災(zāi)發(fā)生時作動，將訊息傳至PLC處理。
7. 差壓設(shè)定開關(guān)：當(dāng)箱體與大氣壓之差壓未達(dá)設(shè)定值動作，將訊息傳至PLC處理。
8. 差壓計：顯示箱體與大氣壓之差壓。
9. 繼電器：依電路設(shè)計可作為控制或接點之輸出。
10. 電源供應(yīng)器：因控制回路所使用之電源為DC 24V，故需Power Supply做為轉(zhuǎn)換。
11. 溫度開關(guān)：當(dāng)感測到箱體溫度高于設(shè)定值時，將訊息傳至PLC處理。
12. I.A過流量開關(guān)：當(dāng)驅(qū)動氣動閥之軟管松脫或爆裂導(dǎo)致流量過大，將輸出訊號告知。

安全功能介紹
1. 緊急停止按鈕：按下緊急停止按鈕即可關(guān)斷所有的氣動閥。
2. 遠(yuǎn)程緊急停止控制：當(dāng)遠(yuǎn)程緊急停止動作驅(qū)動則即可關(guān)斷所有的氣動閥。
3. I.A壓力開關(guān)：當(dāng)氣動閥驅(qū)動壓力不足時則會輸出警報告知。設(shè)定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa
4. 過溫開關(guān)：當(dāng)偵測到箱體環(huán)境溫度高于設(shè)定值時則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉所有閥件。設(shè)定溫度為70℃
5. 紫/紅外線火焰感知器：當(dāng)感測到火災(zāi)發(fā)生時作動，則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉所有閥件。
6. 過流量開關(guān)：當(dāng)管路內(nèi)的流量過大導(dǎo)致驅(qū)動過流量開關(guān)(EFS)，則會輸出警報告知并且自動關(guān)閉該使用側(cè)的閥件。
7. 壓差開關(guān)：當(dāng)箱體內(nèi)的壓差過小的狀態(tài)下，則會輸出警報告知。設(shè)定壓差為50 Pa以上。當(dāng)壓差不足，當(dāng)氣體外泄時時易發(fā)生氣體擴(kuò)散出箱體，故開啟箱體門前敬請注意箱體與大氣的壓差是否足夠。

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