WOFLY全自動(dòng)特氣柜（GC）是專(zhuān)為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)性特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的特氣設(shè)備，通過(guò)SEMI S2認(rèn)證，基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)），主要用于安全穩(wěn)定輸送特種氣體。

現(xiàn)在我們來(lái)認(rèn)識(shí)一下沃飛WOFLY特氣柜上的一些主要組成部分：

1. 氣動(dòng)閥氣源：一般以GN2來(lái)進(jìn)行控制，不建議使用CDA（clean dry air），因GN2的供應(yīng)系統(tǒng)比較穩(wěn)定，不會(huì)因停電或運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)備故障而中斷，此氣源是用于自動(dòng)或半自動(dòng)的氣動(dòng)閥件開(kāi)關(guān)。

2. 手動(dòng)控制閥：主要用于第二道防護(hù)作為第二次確認(rèn)或檢修用，一般于供應(yīng)氣體的出口端。

3. 逆止閥(單向閥)：防止特氣倒灌到清潔用的PN2（高純氮）系統(tǒng)和抽氣用的GN2（普氮）系統(tǒng)。

4. 調(diào)壓閥：用于調(diào)整供應(yīng)系統(tǒng)的供應(yīng)壓力。

5. 壓力傳感器：是防護(hù)系統(tǒng)中非常重要的零件，透過(guò)它我們可以判斷管路是否泄漏，相關(guān)閥件是否正常開(kāi)關(guān)，同時(shí)亦可檢知鋼瓶的剩余量。

6. 真空產(chǎn)生器：利用GN2快速流動(dòng)產(chǎn)生吸力，將管路中的氣體抽出，以到達(dá)抽氣的目的。　

7. 氣體過(guò)濾器：一般在鋼瓶出口端會(huì)裝比較粗的過(guò)濾器，在出端會(huì)裝比較細(xì)的過(guò)濾器，有效過(guò)濾氣體中的顆粒，過(guò)濾器較不易吹掃,所以一般不建議裝在常吹掃的管路中。

8. 過(guò)流量偵測(cè)器：對(duì)管路異常流量進(jìn)行偵測(cè)，若是超過(guò)設(shè)定值，即判斷管路上可能大量泄漏，進(jìn)而關(guān)閉供應(yīng)系統(tǒng)停止供氣。

9. 限流孔：是一種簡(jiǎn)易又有效的過(guò)流量控制裝置，用以限制大量氣體流過(guò)，一般使用于出口處，其主要功用是避免大量的特殊氣體排出，區(qū)域性的廢氣處理機(jī)無(wú)法處理的情況發(fā)生。

以上，就是關(guān)于超高純電子特氣系統(tǒng)中沃飛WOFLY特氣柜的主要組成部分的介紹了，感謝您的閱讀，沃飛科技， 專(zhuān)業(yè)從事氣體系統(tǒng)工程！