VMB閥門分配箱(Valve Manifold Box)，是一種內嵌多支路，實現(xiàn)高純氣體或液體分流的閥門箱，它能讓氣體從單一來源被分配到多點應用。對于每個使用點， 氣壓可被單獨地調控， 從而滿足個別應用需求。它還提供循環(huán)清潔功能和真空抽氣功能， 因此操作人員能夠在無危險氣體泄漏的情況下安全地維護VMB的每一部份。除此以外，設備運行過程中能在不影響其它支路氣體供應情況下，吹掃某一支路或對其進行真空抽氣。VMB 被設計且制造成為單一氣體使用，不能讓兩種氣體共同使用。專為腐蝕性、毒性等危險性氣體供應。閥門盤VMP(Valve Manifold Panel)與VMB區(qū)別在于它使用的開放式管道分配部件，一般用于惰性氣體。

　　目前因制程越來越先進，所以產生BSGS的系統(tǒng)，而未達到供應的穩(wěn)定，且可以一臺分配到多臺VMB，所以在中間都會在增加VDB 。VDB(Valve Distributing Box)就是VMB的總管，主管路到FAB內先接VDB，再分到各各VMB內，其中的VDB有些廠叫做FDB(Flow Dispense Box)，流量分配盒，一般都是用在流量需求特別大的氣體供應上。VDB是進二(有一路做BACKUP)路管道，出多路管道。惰性氣體可選用VDP(Valve Dispense Panel)。

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　　閥門箱VMB和閥門盤VM在硬件上具有幾大部分，分別是人機界面、PLC電磁閥、警急遮斷按鈕、LED指示燈、紫/紅外線火焰感知器、差壓設定開關、差壓計、繼電器、電源供應器、溫度開關、I.A過流量開關等。其中，人機界面作為人與控制器的控制與溝通界面，一方面可顯示系統(tǒng)目前的狀況，還可接受操作人員下達的指令，作為系統(tǒng)運作的確認。而紫/紅外線火焰感知器可以在感測到火災發(fā)生時作動，將訊息傳至PLC處理;差壓設定開關是當箱體與大氣壓之差壓未達設定值動作，可以將訊息傳至PLC處理;溫度開關在感測到箱體溫度高于設定值時，能夠將訊息傳至PLC處理;I.A過流量開關是當驅動氣動閥之軟管松脫或爆裂導致流量過大時，可將輸出訊號告知。

　　歷經多年的技術迭新與系統(tǒng)升級，目前閥門箱VMB和閥門盤VMP安全功能顯著，其部分操作應用既滿足了工藝生產過程中對高純介質的連續(xù)供給和高純度的要求，同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。比如按下緊急停止按鈕即可關斷所有的氣動閥;當遠程緊急停止動作驅動則即可關斷所有的氣動閥;當氣動閥驅動壓力不足時則會輸出警報告知，設定壓為 0.4 ~ 0.63 Mpa;當偵測到箱體環(huán)境溫度高于設定值時則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件，設定溫度為70℃;當感測到火災發(fā)生時作動，則會輸出警報告知并且自動關閉所有閥件;當管路內的流量過大導致驅動過流量開關(EFS)，則會輸出警報告知并且自動關閉該使用側的閥件;當箱體內的壓差過小的狀態(tài)下，則會輸出警報告知，設定壓差為50 Pa以上。

　　長期以來，作為專業(yè)從事氣體系統(tǒng)工程設計安裝、技術服務咨詢和配套產品生產銷售為一體的國家高新技術企業(yè)，沃飛科技致力于為先進制造企業(yè)及研發(fā)機構提供高純工藝系統(tǒng)解決方案，業(yè)務涵蓋了整個系統(tǒng)方案設計、材料和設備供應、安裝、測試、調試和系統(tǒng)托管服務，工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業(yè)，銳意為客戶提供高純介質輸送系統(tǒng)全套解決方案，在成為行業(yè)領先的專業(yè)系統(tǒng)集成服務商的道路上穩(wěn)健快速發(fā)展，逐步成為行業(yè)領先的整體系統(tǒng)供應商。