電子特氣制備工藝系統(tǒng)的應(yīng)用

電子特種氣體，是一種用于制造半導(dǎo)體及其他電子器件的特種氣體，是半導(dǎo)體制造的重要原材料之一，應(yīng)用于晶圓制造的各個(gè)環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)能逐步向中國(guó)特別是集成電路制造業(yè)轉(zhuǎn)移，本土對(duì)品質(zhì)、品質(zhì)要求高的電子特種氣體需求更加旺盛。

電子特種氣體，包括硅族氣體、鹵化物或鹵素化合物氣體，含硼、磷、砷等原子的氣體，以及碳氟化合物氣體，種類(lèi)繁多。與工業(yè)氣體不同，電子特種氣體要求電子級(jí)，即更高的純度，以滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造微加工工藝的潔凈要求，而“特”則體現(xiàn)在其毒性、腐蝕性、可燃性等化學(xué)活性上，更容易參與半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)反應(yīng)。

電子專(zhuān)用氣體的好壞直接影響光電和微電子元器件的質(zhì)量、集成度、具體技術(shù)指標(biāo)和成品率，對(duì)半導(dǎo)體集成電路芯片的質(zhì)量和性能具有重要意義。國(guó)內(nèi)電子特氣雖已占據(jù)一定市場(chǎng)，但仍以光伏、LED、平板顯示等泛半導(dǎo)體制造為主。集成電路制造用電子專(zhuān)用氣體國(guó)產(chǎn)化率較低。電子專(zhuān)用氣體，特別是關(guān)鍵工藝氣體，如果在集成電路制造中需要通過(guò)驗(yàn)證，對(duì)制備體系、質(zhì)量控制穩(wěn)定性和包裝都有更高的標(biāo)準(zhǔn)要求。

高純氣體產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)要求

不同種類(lèi)的半導(dǎo)體器件，其制造工藝不同，電子特種氣體的種類(lèi)也不同，對(duì)電子特種氣體純度的要求也不同。集成電路占據(jù)了半導(dǎo)體產(chǎn)品市場(chǎng)80%以上的份額，制造工藝最復(fù)雜，技術(shù)壁壘最高，審核認(rèn)證最嚴(yán)格，制造過(guò)程中需要的電子特種氣體種類(lèi)最多。并且工藝線(xiàn)寬越小，對(duì)電子特種氣體的純度要求越高，需要檢測(cè)的氣體雜質(zhì)和金屬雜質(zhì)的種類(lèi)也就越多。

除了滿(mǎn)足指標(biāo)要求外，電子特氣質(zhì)量的一致性也非常關(guān)鍵。半導(dǎo)體制造廠(chǎng)采用統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制（SPC）技術(shù)控制半導(dǎo)體材料電子專(zhuān)用氣體的質(zhì)量，避免和消除非自然異常，保證質(zhì)量的一致性，從而保證半導(dǎo)體制造的穩(wěn)定性和良率。

電子專(zhuān)用氣體主要用于半導(dǎo)體制造的外延、擴(kuò)散、光刻、刻蝕、薄膜、離子注入等工藝。是制造集成電路、平板顯示器、化合物半導(dǎo)體器件、光伏器件、光纖等半導(dǎo)體器件不可缺少的基礎(chǔ)材料。一。衡量電子特種氣體質(zhì)量的指標(biāo)不僅指氣體本身的純度，還包括影響制造過(guò)程的各種關(guān)鍵雜質(zhì)含量，如氧氣、水分、金屬、離子濃度、顆粒物等。我們通常用N（九）來(lái)表示氣體的純度。6N表示氣體純度為99.9999%。雜質(zhì)含量通常為ppm（百萬(wàn)分之一，0.0001%）、ppb（十億分之一，十億分之一，0.0000001%）。

高純氣體產(chǎn)品品質(zhì)檢驗(yàn)要求（舉例）